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无接触式硅片厚度、TTV、电阻率测量仪-Dsi2000
所属类别:硅棒/硅锭生产设备 > 检验/测试设备
所在地区:上海闵行区

发布日期:2012-06-25 11:03:49
浏览次数:2519

信息详细内容:

       Dsi2000是一款手动无接触式测量仪,测量操作简单,配备有独立的电脑主机,数据报告保存打印都非常方便。厚度和电阻率均有单点、多点及连续测量方式,有多种测量操作选择,在测量的同时还可以对测量数据进行合格判定。

测量指标如下:
硅片规格:
     方片:125x125mm、156x156mm
     圆片:3″、4″、5″、6″、8″
测试功能:
       厚度:单点及多点厚度
       TTV:总厚度偏差
       体电阻率:单点及多点体电阻率

厚度指标:
       测量范围:150μm-1000μm(可调)
       绝对偏差:≤±1.0μm
       重复性: 1σ≤0.2μm
       长时间稳定性(10小时):1σ≤0.15μm

TTV指标:
       测量范围:0.0μm-200μm
       偏差:≤±0.5μm
       重复性: 1σ≤0.2μm

电阻率指标:
       测量范围:0.1Ω.cm-30Ω.cm
       偏差:≤±3%*R
       重复性:1σ≤1.5%*R

测试环境要求:
       温度范围:15~27℃
       湿度范围:35%~85%

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发布单位:

上海双尔电子科技有限公司 
公司性质:私营合伙企业
经营模式:生产加工
所 在 地:上海闵行区
联 系 人:宁伟
联系电话:86 021 34150813

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